STANDARD CDS
標準型供酸系統與近端化學品供應
標準型供酸系統 Standard CDS；近端化學品供應，包括混酸與控溫需求 Local Supply / Mixing / Temp Control。
CHEMICAL DELIVERY SYSTEM · FAMILY VIEW
以設備家族理解供應架構
影像呈現化學品供應系統家族；各型式規格請依下方資料比較。
TYPE S
標準型供酸系統
Standard CDS ・ Type S
Process pump : Maglev + Bellows ・ Drain pump : Diaphragm ・ Tank Volume : 80L ・ STD/Smart Dosing function ・ Inline Heater + HEX
TYPE C
緊湊型供酸系統
Type C
Process pump : Maglev + Bellows ・ Drain pump : Diaphragm ・ Tank Volume : 50L ・ Inline Heater + HEX
LPC
近端供酸櫃
Local Pump Cart ・ LPC
近端化學品供應，包括混酸與控溫需求
Inlet : 1 or 2 chemicals in barrels or FAC supply ・ Mixing fuction ・ Pre heating function