SMART UPGRADE & MONITORING · CIP
CIP 效能優化方案
CIP 效能優化方案的各項模組。
MTC高精密化學品溫控系統
對應需求：溫度敏感製程
WTG晶圓溫度梯度管理系統
對應需求：溫度敏感製程
IPC以全新系統取代已停產電控架構系統
對應需求：電腦與軸控升級方案
SIS訊號整合系統
對應需求：訊號整合
將原本管路與製程腔材料更換為與新化學品相容耐化性材料
對應需求：製程轉換材料更換
DEB管路除泡設計
對應需求：氣泡移除
SBS回吸系統
對應需求：滴漏防止回吸系統
智慧補酸／混酸系統設計
對應需求：需複雜設計之補酸／混酸功能
NEXT LAYER
虛實整合 CPS ・ 數位分身 Digital Twin
虛實整合 Cyber-Physical System (CPS) ・ 數位分身 Digital Twin。